2次元走査LIDARのためのMEMS技術を用いた送信系に関する実験研究

摘要

本研究では，宇宙探査機用2次元走査LIDAR (LIght Detection And Ranging)）のためのMEMSミラーを用いた送信光学系について提案している．現在，ISAS/JAXAにて開発されている2次元走査LIDARでは，φ10°の走査範囲に離散的アレー状に受信視野(φ1.5mrad)が配置されている．送信システムは離散的に配置された受信視野に対して，共振駆動によって2軸方向に回転可能なMEMSミラーでPassive Q-SW YAGレーザのパルスを発射していくシステムとなっている．本報告では，共振駆動するMEMSミラーの位置の決定手法を提案し，500Hz程度で共振駆動するミラーを用いて0.5mrad以下の決定精度が得られることを実験的に確認した．