プリカット短縮ハブ付きダイシング用ブレード

摘要

近年，半導体製造工程のウエハダイシング工程で使用されるハブ付きダイシング用ブレード（以下Hubブレード）には，歩留まりの向上を目的とした加工品質の改善と生産性の向上が常に求められている．通常，Hubブレードを使用する際には，プリカットと呼ばれる準備作業を行う．これは，ダミーウエハ等を使って徐々に送り速度を上げていき，チッピングサイズが安定するまでカットを行う作業だが，当然，生産に寄与しない作業であるので，ユーザーからプリカット短縮の要望が多く出ていた（図1参照）．本稿では，上記要望に応えるために開発された，プリカット短縮を特徴としたHubブレード（以下ZH01）を紹介する．また，プリカット短縮以外の特徴（チブプ飛び破損の低減）についても紹介する．