紫外線により励起された蛍光材料と光触媒による銅の研磨現象について－紫外線励起加工の研究

摘要

ポリマや光触媒などの光励起物質が紫外線の光エネルギを吸収すると，励起されることになる．これらの物質が加工物と原子オーダで接触するならば，この励起反応は微細加工に用いられると思われる．したがって，サブナノオーダの加工はルミネッセンス現象や光触媒反応により可能になると思われる．本研究では，紫外線を照射された蛍光材料の水溶液中に，純銅を浸漬したときの表面アブレージョンから銅の腐蝕過程が推論されている．さらに光触媒を混合したときの加工原理を，本研究で開発された紫外線照射型研磨装置により，銅のポリシングを行い，検証を行っている．本論文は蛍光材料と光触媒を混合した液中で，銅を研磨したときの研磨特性を報告している．紫外線の照射は銅の腐蝕速度を増し，WA砥粒を用いた場合，表面粗さは小さくなっている．しかし，TiO{sub}2を用いた場合，表面粗さは逆に大きくなった．酸化チタンの光触媒反応は銅の過度の腐蝕を起すことがわかった．