紫外線励起加工の研究(U-RAM)-(第12報）紫外線により励起された光触媒と蛍光材料によるカップ型ニッケル円管の内外面の研磨現象の検証

摘要

紫外線を照射しながら加工を行うという考えで，銅の紫外線励起加工を行い，ニッケル円筒の研磨現象を追究した結果を報告してきた．さらに，カップ型微小ニッケル円管の内外面の研磨現象も追究してきた．例えば，ニッケル円管は冷陰極管の電極などに用いられている．微小円管の内面研磨は化学研磨により試みられているが，研磨液が円管内部に入りにくいこと，化学反応によりガスが発生し，円管が液中に浮いてしまうことなどにより，研磨が行われていない．ここでは，紫外線励起加工により，微小なカップ型ニッケル円管の内外面の研磨を行い，各種研磨条件を変えたとき，どのような研磨現象が見られるかにつき詳細に検証した結果を報告する．実用的な研磨法，研磨技術として確立することを目指す．