MEMS技術とMEMS技術を使ったセンサ

摘要

MEMS技術を応用した電子デバイスとして，インクジェットプリンタのプリンタ·ヘッドなどのアクチュエータ，加速度センサ，ジャイロ、センサ，圧カセンサ，マイクロホンなどのセンサ，RF MEMSなどのスイッチ，プロジェクタに用いられるDMD（Digital Micromirror Device）などのマイクロシステムなどがあげられる。本稿では，MEMS 技術の応用品のうち，特に建築·土木分野への利用が期待される，MEMS加速度センサ，MEMSジャイロセンサおよびMEMSマイクロホンについて，紹介する。