基于MEMS技术的催化燃烧气体传感器

摘要

在石油、化工企业,以及地下燃气管道、加油站等地方,容易存在可燃气体泄露的隐患。传统的方法是用催化燃烧气敏元件来检测可燃气体的泄露,随着智能物联网的发展,越来越多的研究者研究MEMS可燃气体传感器。MEMS可燃气体传感器是采用微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统传感器相比,它不但具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性好、适于批量化生产、易于集成等特点,而且实现了智能化、多功能化。