クリーンルームにおける空圧機器·システムの動向：クリーンルームと電磁弁－クリーンルームにおける空気圧機器·システム

摘要

一般的な半導体装置は、製造している製品の性質上、クリーンな環境が要求され、その精浄度はIC等の記憶容量の大形化などに伴いグレードアップしている。 また、半導体製造装置に限らず、他の分野での製造装置でもクリーンルーム内での自動化が進んでいる。 こうした装置に使用される空気圧機器に対しては、クリーンルームの清浄度を低下させないこと、すなわち発塵防止対策等の仕様が必要となる。