クリーンルームにおける空圧機器·システムの動向：クリーンルーム内で使用される空気圧機器·システムの動向－総論：クリーン化技術の適用と基本要件

摘要

本稿では、まず、クリーンルームに関する規格や利用分野の動向を述べ、空気圧機器·システムにおけるクリーン化技術および製品の適用例を概説する。 次に、空気圧機器に要求されるクリーン化の基本的な条件や課題について述べる。 また、最近の要求機能の動向やクリーンルーム内で使用される空気圧システムの最新ニーズとその適用事例を紹介する。