超音波振動による超精密·微細加工の実用化技術をさぐる：超音波振動切削技術の原理と動向

摘要

一方、研削などの砥粒加工に対しても同様であり、遊離砥粒を利用した、いわゆる超音波加工にはじまり、ラッピングや研削砥石に作用させる方法までさまざまな形態が掟案され、やはり効果や問題点などが明らかにされている。切削や砥粧加工における振動は、切削時のぴびりに代表されるように、一般的には有害なものとして取り扱われる。それに対して、超音波振動切削や砥粧加工においては、振動を積極的に作用させる方法である。そこには、振動方向、振幅あるいは2次的な振動の発生を制御しなければならないといった難しさがある。すなわち、超音波振動切削における切削機構、現象、あるいは工具と工作物間の振動系などを十分に理解した上で利用する必要がある。本稿では、超音波振動切削法の原理や最近の動向に関して、その概要をまとめてみる。超音波振動切削の特性の理解の一助となれば幸いである。