超精密マイクロ加工用切削工具

摘要

超精密技術としてほピコメートルオーダまで測定可能になった測長システムや1nmの制御が可能なCNCコントローラ，リニアモータの技術が開発され普及し，1nmで制御が可能な5軸の超精密加工機が現れた．そして，これらに対応する工具として超精密ダイヤモンド切削工具もより高精度化·微細化が進み超精密マイクロ加工用切削工具としての開発も進んでいる．マイクロ加工法として従来からあったフォトリソグラフィ法やイオンビーム法に比べ，切削加工はマイクロメータの領域の自由度を高まり，マイクロ加工への切削工具の適応分野が広っている．本稿では，超精密ダイヤモンド切削工具の特徴と加工事例を説明し，新たに超精密マイクロ加工用切削工具として開発されたナノマイクロフォーミングツールと今後の展開について紹介する．