無振動機構を有する高加速度·高精度ツインリニアモータ駆動加工機の性能と超精密加工事例

摘要

最近の動向として、携帯型電子機器の軽量小型化が要望されてきている。 このため、これらの製品に使用される部品のさらなる小型·軽量化が必要になっている。 部品の小型化に伴い、サブミクロンの加工精度が要求されているが、金型の小型化に伴う工具の小径化と加工速度の低下によって、加工効率が著しく低下しているのが現状である。 レンズなど光学部品の金型を加工する超高精度加工機は、サブミクロン以下の超高精度加工が容易に実現できる半面、高加速度で動作させることができないために加工速度が上がらない。また、一般的なマシニングセンタではサブミクロンの加工精度を実現すること自体が困難であり、駆動部の重量も重いため、微小領域を高加速度で動作させることが難しい。 そこで、当社では微細形状の加工に関する問題点を解決し、高加速度·高精度な加工を実現可能なツインリニアモータ駆動加工機「AZ 150」（図1参照）を開発したので、その性能と加工事例について報告する。