冷陰極HARP撮像板用アクティブマトリクス駆動回路の多画素化検討

摘要

小型で超高感度なハイビジョンカメラの実現に向けて、スピント型電界放射陰極を多数並べた冷陰極アレイに超高感度なHARP光電変換膜を組み合わせた撮像板の開発に取り組んでいる。画素ごとに順番に電子ビームを放射する本撮像板では、ハイビジョンに向けた多画素化に伴い、冷陰極アレイ駆動の高速化が求められる。今回、新たなアクティブ駆動回路構成について検討を行った結果、アレイの高速駆動に見通しを得た。