アクティブ駆動型HEED冷陰極HARP撮像板の試作

摘要

小型超高感度カメラを目指して、電界放射陰極アレイに超高感度なHARP光電変換膜を対向配置した冷陰極HARP撮像板の開発に取り組んでいる。 今回、撮像板の高精細化に向けて、アクティブ駆動型HEED冷陰極アレイおよびこれを適用した1インチ256×192画素撮像板を試作した。 撮像実験の結果、試作撮像板ではクロックや同期信号等を加えるだけで画素の順次駆動が可能という所期の性能が得られていることがわかった。また、ハイライト入射に対応できるダイナミックレンジやHARP膜に由来する超高感度、画素数に相当する良好な解像度が得られ、高精細な超高感度、広ダイナミックレンジ撮像板の開発に見通しを得た。