直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11(anti 2)0）配向ZnO圧電膜の大面積成膜

摘要

これまで，円形エロージョンを有したRPマグネトロンスパッ装置を用いた(11(anti 2)0）Zno圧電膜の作製の報告がなされている．しかしこの場合は基極上の微小な領域でしか十分に配向せず，またc軸がウェハ面内で放射状に配向するといった課題があった．今回，我々は直線エロージョンをもったスパッタ陰極を用いることで，基板の広範囲で良好な結晶性を有し，かつ圧電軸が同一方向に配向した(11(anti 2)0）配向ZnO圧電膜の作製に成功したため，その結果を報告する．