弾性波ガスセンサ応答波形解析とセンサ特性評価に関する研究

摘要

本報告では、弾性波ガスセンサの応答特性評価法について述べる。本法では、センサの応答波形をLangmuir吸着理論に基づいて解析する。 解析の結果得られる幾つかのパラメータ値によって、センサの応答特性（感応膜のガス分子吸着特性）を数値表現するものである。 解析によって得られるパラメータは、センサ表面におけるガス分子吸着サイト数、およびガス分子一感応膜間の分子間相互作用力を反映する値である。 これらのパラメータ値を用いて感応膜を評価すれば、測定対象ガスに対して有効な感応膜を選択が容易になる。 本方法によって実際のセンサ応答特性を評価したところ、ガス分子の物理的·化学的性質と感応膜材料の影響を反映したパラメータが得られることが確認された。