MEMS（微小電気機械システム）の産業展開

摘要

フォトリソグラフィを基本にした集積回路製造技術を発展させて，ある程度立体的な微細加工を行う「マイクロマシニング」技術を用いると，情報処理する回路だけでなく微細構造体やセンサ，あるいは機械的に動くアクチュエータを一体化·集積化できる．これはMEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微小電気機械システム）と呼ばれ，システムの鍵を握る重要な部品を供給するのに役立っている．以下ではジャイロやデータストレージなど代表的なMEMSに絞り，応用分野ごとの産業展開について述べる．