半導体微細加工技術で作るMEMS（徴小電気機械システム）の産業展開について

摘要

集積回路技術を発展させた「マイクロマシニング」と呼ばれる微細加工技術により，回路だけでなく微細構造体やセンサ，あるいは機械的に動くアクチュエータを一体化·集積化した「MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）」がシステムの鍵を握る部分に使われている。 特に回路と同一チップに形成したSOC（System On Chip）MEMS，あるいは回路と別に形成して一体で実装したSIP（System In Package）MEMSのような「集積化MEMS」はシステムLSIの高付加価値化に結びつく。 微細化による性能向上が鈍化しても，MEMS技術などによる多様化·高付加価値化でLSIは進歩していくものと考えられる。