微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

周兆英; 杨兴; 熊继军

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微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.

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来源
《测试技术学报》|2002年第z2期|913-921|共9页
作者
周兆英; 杨兴; 熊继军;
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作者单位

清华大学精密仪器系,北京,100084;

清华大学精密仪器系,北京,100084;

清华大学精密仪器系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电气测量技术及仪器;
关键词
微机电系统(MEMS); 纳机电系统(NEMS); 微米纳米技术;
入库时间 2023-07-25 19:26:46

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