Метод определения степени компенсации электрически активных примесей в многодолинных полупроводниках

摘要

Предложен метод определения степени компенсации k=Na/Nd для примесей мелкого залегания в кристаллах n-Si с невырожденным электронным газом. Приведены необходимые данные, которые обеспечивают удобство при практическом нахождении. степеМ компенсаций.