環境調和型ゼロエミッション次世代半導体配線形成方法の開発

摘要

われわれの現代生活はエレクトロニクスの発展に依存しているが，その中で半導体集積回路技術の革新は最も重要な役割を果たしている．半導体集積回路は，金属－酸化膜－半導体電界効果トランジスタ（MOSFET）を基本素子として，スケーリングによる微細化と高集積化が進展してきた．このトレンドでは二年周期毎に0．7倍に最小寸法をスケーリングしており，一般にムーアの法則と呼ばれている．