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プラズマ技法による乾式DDS開発

机译:通过等离子体技术进行干DDS显影

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摘要

プラズマ(等離子)とは,一種の電離気体のことである.太陽,雷,アーク放電などの高エネルギー状態の完全電離気体は熱プラズマと呼ばれ,有機化学とはほとんど無縁の世界である.山方,ネオンサインや蛍光灯内のような低圧の弱電離気体は低湿プラズマと呼ばれ,通常の放電技術によって容易に発生させることができる.一般に,プラズマ化学とは,このような低温プラズマ内で起こる反応を扱う化学をいう.
机译:等离子体(iso-isolator)是一种电离气体。高能状态下的完全电离的气体(例如太阳,闪电和电弧放电)被称为热等离子体,是一个几乎与有机化学无关的世界。低压弱电离气体(例如Yamakata,霓虹灯和荧光灯中的气体)被称为低湿度等离子体,可以通过常规放电技术轻松生成。通常,等离子体化学是指处理在这种低温等离子体中发生的反应的化学。

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