非平衡プラズマプロセスによる乾式アルミ表面処理

摘要

プラズマを用いた表面改質，洗浄に関する多くの研究があるが，我々は非平衡プラズマを用いた新しい乾式プロセスによるアルミ表面処理技術を試みた．製造元から届いたアルミコイルは剥離性を良くするためにグリース等の有機物が塗布されており，これを種々の機械部品とするために親水性，耐腐食性を持つ表面に改質する必要性がある．従来プロセスは図1に示すような湿式プロセス（有機物除去後200℃で乾燥，耐腐食性クロメートプロセス後200℃で乾燥，親水性保持のケミカルプロセス）から成り立っている．この従来プロセスでは，クロム（Cr{sup}+6）使用が環境問題となっている．我々はCr{sup}+6を使用せず，常温常圧非平衡プラズマ処理した表面に耐腐食剤を塗布し，密着性を向上させるシンプルで経済的な乾式方式を開発した．最終的なアルミ表面断面図の比較を図2に示す．非平衡プラズマを用い表面改質を行った報告書は多々あるが，アルミ表面改質へのプロセスに応用した報告書は限られている．ここで，60 HzAC，RT，パルスコロナの3種類のプラズマ発生装置を用い，有機物除去とアルミ表面の活性化による耐腐食剤エポキシ樹脂の密着性を向上することを目的とし，CASS腐食試験により評価を行った．