用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装置

摘要

本发明公开了一种用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装置，包括前级充电器和等离子体发生器；前级充电器包括直流电源和谐振充电电路，直流电源用于为谐振充电电路提供直流电压，谐振充电电路用于为等离子体发生器提供交流脉冲电压；等离子体发生器为中心设置有反应腔的圆柱状结构，包括外屏蔽层、原方低压绕组、外绝缘层、副方高压绕组、内绝缘层、内屏蔽层、副方电容、触发极电阻、气体间隙陡化开关、电极支架、高压电极、直线电极和金属板；颗粒或气体物质的处理直接在反应腔内进行。该装置放电可以在大气压开放空气以及没有阻挡介质的环境下进行，等离子体中电子和活性粒子的能量更大，浓度更高，且装置结构紧凑，体积小，稳定性高。