最新鋭のFIB装置と可搬型SEMを発売顧客ニーズに応え、品ぞろえを強化

摘要

日本電子は、試料の加工と観察の両機能を兼ね備えた集束イオンビーム（FIB）装置と、光学顕微鏡並みの操作性と高い解像度を実現した可搬型の走査型電子顕微鏡（SEM）の2種を開発し、このほど販売を開始した。 半導体分野などでさまざまな顧客のニーズに応えるため、品ぞろえを強化する。