ホットェンボス成型による石英ガラス型を用いたホウケイ酸ガラスのマイクロ成型

摘要

石英型は光インプリント用型素材として利用されるのが一般的であったが，本研究では，ホットエンボス成型技術によって製造した石英ガラスをホットエンボス成型用型として用いてホウケイ酸ガラスの成型を試みた．石英ガラスのホットエンボス成型には，研削加工とQスイッチNd:YVO_4レーザー加工によって製作した2種類のGC型を用いた．ホットエンボス成型の際に生じるガラスとガラスの張り付きを防止するに相応しいスバッタ金属を検討した上，石英とホウケイ酸ガラスの完全充填に必要な各成型条件（加熱温度，加圧力，加圧保持時間など）を調べた．その結果について報告する．