「高度な制御」を実現するDMC50＜高性能製造装置向けモジュール形マルチループ調節計＞

摘要

半導体·電気電子市場では、技術革新のスピードが早く、製造過程における微細化技術と極小化技術は、さらなる高精度化·高密度化へ進んでいる。 これにともない、製造プロセスにおける温度制御技術も、より「高度な制御」が要請されている。 ここでは、高性能製造装置向けモジュール形マルチループ調節計DMC50を紹介する。