最先端表面分析手法：元素分析から電子状態解析まで

摘要

現在，ナノメートルオーダーで微細に制御されたデバイス·材料の開発が進むにつれ，組成·構造·化学結合状態·電子状態等の表面分析は，機能発現のメカニズムについての情報を得る上で重要性が増しつつある·ここでは，北海道大学微細構造解析プラットフォーム事業で幅広いユーザーに装置および技術提供を行っている最先端の表面分析手法である光電子分光法やスピン偏極測定について紹介する．