自己組織化構造を用いた化合物半導体のナノ·マイクロファブリケーション（II）－結晶異方性を利用した湿式エッチングによるGaAsの微細加工

摘要

自発的に形成される自己組織化構造を用いたナチュラルリソグラフィーと湿式での化学的あるいは電気化学的エッチングを組み合わせ，半導体の持つ結晶異方性を利用すると，従来のドライエッチングでは得られないナノ·マイクロ構造を作り出せる．本稿ではGaAsの三角プリズム型ピラーアレイおよびナノワイヤの作製とその応用例について紹介する．