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【24h】

自己組織化構造を用いたシリコンのナノ·マイクロファブリケーション(I)-アノード酸化皮膜およびコロイド結晶を利用したシリコンの微細加工

机译:使用自组装结构(i)使用阳极氧化物和胶体晶体的硅和胶体晶体的纳米微制造

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摘要

近年,自己組織化単分子膜,ミセル,ブロックコポリマーなど自発的秩序構造を利用した固体基板の微細加工技術が注目されている.本稿ではアノード酸化膜や自己組織化微粒子(コロイド結晶)を用いたシリコンの湿式法による微細加工について筆者らの研究を中心に紹介する.
机译:近年来,使用自发性有序结构如自组装单层,胶束和嵌段共聚物的固体衬底的微细加工技术引起了注意力。 在本文中,我们通过使用阳极氧化物膜或自组装细颗粒(胶体晶体)介绍了硅的湿法方法对本领域的研究的研究。

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