フォトマスク生産ライン描画工程における省エネ事例

摘要

4重描画から2重描画化によるシステムの変更により，出力を2倍にするため消費電力（kW）は15％悪化するが，フォトマスク1枚あたりに必要な描画時間が半減するために生産数は倍増し，消費電力量（kWh）は42％改善された。また，懸念された描画精度もむしろ向上することが確認されたため，世界のフォトマスクメーカーの中でも先行して導入，生産適用して省エネ効果を得ている。