機能性セラミックス［光学分野の動向］：チョクラルスキー法による大型フッ化カルシウム単結晶の開発

摘要

ArFエキシマレーザーを光源とする半導体露光装置のレンズ材料には、大口径で高品質のフッ化カルシウム単結晶が必要不可欠である。 本稿では、チョクラルスキー法による単結晶の育成技術と品質改良の開発について紹介する。