ソリューションプラズマによる材料開発

摘要

プラズマは、戦後復興期から現在に至るまで、溶接、溶解、薄膜作製、エッチング、表面改質、有害物処理などの技術を通し、日本の基幹産業を一貫して支えてきた。高温プラズマによる溶接技術·溶融技術は、鉄鋼産業、造船産業、自動車産業において必要不可欠であり、低温プラズマによる薄膜作製技術·エッチング技術·表面改質技術は、現在の半導体·電子産業、また機械·自動車·航空機·宇宙産業においてなくてはならない技術となっている。プラズマの応用技術は、主として真空および大気圧下の気相中で生成したプラズマを利用してきた。