ナノ粒子製造技術（高周波プラズマ法）による様々な製造例

摘要

ナノメートルオーダーの粒子（ナノ粒子）は、微細化による表面積の増加や量子サイズ効果の発現により、新たな機能性材料として利用できる可能性があるため、その製法に関する検討が盛んに行われている。