実運用にみる画像処理検査技術の活用事情－現場事例にみる運用と評価：目のアマクリン細胞機能を電子回路化した高精度画像外観検査システム

摘要

最新のシステムでは，欠陥の最小寸法が0.045ミクロン（45ナノメータ）の接像チップの検査から30mの大きさのタンカーの甲板に使われる厚板の検査までの検知能力を，全く同じアーキテクチャのシステムで対応することができるフレキシブルさをもっている。汎用性では自動車·鉄鋼·フィルム·半導体など31の業界で各業界のトップメーカに使われ，日本の企業所得番付トップ38社のうち製造業には100％の納入実績をもっている。 またパターン検査を除く外観検査系で，できないものはないほどの応用分野をもっている。本システムは，人間の目による検査を超える人間の116.5倍の微細欠陥検出精度と人間の14倍以上のムラ検知能力をもち，24時間365日連続検査を完全自動でこなすことができる。コンセプトも性能も従来システムと全く異なるものである。