進化を遂げた超音波流量計

摘要

半導体製造装置関係においては，計測の精度や信頼性はもちろんのこと，量産性やコストという面からも他方式の流量計と非常に厳しい競争が要求され，それに応えることで，ユーザ殿にご採用いただいてきた。本書では，当社超音波流量計の代表機種を紹介するとともに，上述の当社が持つ超音波流量計測技術を応用し，進化した次期超音波流量計を開発したのでその内容について紹介する。