半導体，液晶製造工程で使用されるユーティリティ用ガス流量計

摘要

オーバルは半導体，液晶および電子産業に多くの流量計を提供してきている。 プロセスセンサの中でも流量計ほど流体，プロセス条件，用途などによって種類を異にする計測器はない。 流量計一筋に半世紀，オーバルは常に時代の先端を視野に入れながら，多岐にわたるユーザのニーズに応えるべく，製品開発を進めている。