クリーンルーム設備：空調，ユーティリティ設備－半導体製造工程における排気処理概論

摘要

クリーンルーム内には，高性能フィルタなどで大気中に浮遊する粒子や汚染ガスをスクリーニングした外気が取り入れられ，所定の清浄度や温度·湿度が維持される．工業用クリーンルームの場合，室内では各工程別の製造作業がなされ，取り扱われる化学物質は多岐にわたる．使用済みの廃ガスや廃液は公害防止法などによって管理されるため，適切な処理を行った後排出される．また，バイオクリーンルームでは医療，動物飼育，食品製造などが行われ，種々の臭気物質や廃液が発生する．本稿では，代表的な半導体製造工程におけるクリーンルーム排気の種類，処理方法および処理設備に使用される材質などについてその概要を述べる．