クリーンルーム工場建設における環境配慮ヘの取組み

摘要

地球環境に配慮する事業活動が社会的に求められて出る。東芝では工場建設時に，社内組織である建設部において環境への影響を総合的に検討し，省エネルギー（以下，省エネと略記）などの施策を設計に盛り込む形で環境に配慮している。 特に半導体·液晶製造のためのクリーンルーム工場は，多くのエネルギーを消費することから省エネ対策を強化しており，空調循環風量や冷凍機効率の改善などを行うとともに，気流シミユレーションを活用した省エネ手法を開発した。 気流シミュレーションは，気流の改善によって，効率的にクリーン化を実現するために有効な手法であり，クリーンルームのエア供給系の動力削減や局所クリーン化に活用している。