电子工厂高级别洁净室的建造特点

摘要

本文所指的高级别洁净室是指洁净室的洁净度高(ISO-2、3、4、5级),生产环境温湿度的精度高,其他一些环境参数,例如:静压差、静电、微振、电磁、噪声、照度等参数都必须按生产工艺的要求进行严格控制的洁净室.这类面积大、环境参数要求高的洁净室广泛地应用在电子工业厂房中,如:大规模集成电路(LSl)、超大规模集成电路(VLSl)等微电子产业的电子工厂以及彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD);发光二级管(LED)以及等离子技术(PDP)等光电子产业的电子工厂之中。