3次元高密度オンボード光回路実装を可能にするマルチモードポリマー光導波路

摘要

本研究では，ハイパフォーマンスコンピュータの更なる高性能化に向けて期待される光インターコネクト技術の中で，キーコンポーネントの一つとされるポリマー光導波路に着目し，その高密度配線化および基板への実装について検討する．これまで我々は，Mosquito法を用いて円形GI型コアを有するポリマー光導波路を作製し，その優れた光学特性を示してきた．本研究では，更なる高密度配線への期待に応えるべく，交差導波路をMosquito 法を適用して作製し，その光学特性を評価した．また，GI型導波路の端面に45度ミラーを形成し，基板実装の際に必要となる垂直光路変換時の損失低減の可能性を検討した．その結果，GI型導波路はSI型導波路と比べてミラー形成による過剰損失を約3dB低減できることが確認された．さらに本研究では，コアが水平·鉛直両方向に描かれた3次元ポリマー光導波路をMosquito法によって作製し，その導波路の垂直光路変換構造としての機能を示した．