BaTiO_3ナノ粒子の粒径がMLCC内部電極用Niペーストの焼結特性に及ぼす影響

摘要

積層セラミックコンデンサー（MLCC）の電極の薄層化を目指し従来の共材の粒径0．1／mu mではなくBaTiO_3ナノ粒子を用いてその粒径が焼結特性に及ぼす影響を検討した．その結果以下のことが分かった．グリ－ソ密度の結果より，分散性のよいBaTiO_3ナノ粒子ではBaTiO_3の粒径が小さくなった方が膜の緻密度を向上させることが明らかとなった．分散性のよいBaTiO_3ナノ粒子の粒径の違いにおける焼成収縮率の影響はNiスリーポケットサイズに近いBaTiO_3の粒径30nmの方が優先的にNi粒子問に入り込む割合が高いため低温領域で小さくなり，焼結面徴構造からもNi電極膜の焼結を抑制していることが明らかとなった．