先端リソグラフィ材料新工場が稼働：ArFレジストの有償出荷開始

摘要

JSRは11月25日、09年春に完工した先端リソグラフィ材料新工場を稼働し、ArFレジストの有償出荷を開始したと発表した。建設した新生産工場は、製造設備を完全にクリーンルーム化し、自動化を進めることで、顧客からの品質要求に対応するための精密製造を実施。