MEMS技術を利用した気流センサの研究－昆虫型ロボットへの搭載

摘要

これに対し，本研究では，構造部材として真*平板を用いて，MEMS技術によりロボットの胴体を平面に展開した形状を加工し，さらに複数のセンサを真*平板上にあらかじめ表面実装した後に，平板を折り曲げて立体的なロボットを組み立てる「センサ搭載型折り紙構造」を提案した．折り紙構造を利用して小型ロボットを容易に精度良く組み立てる手法としては，FearingらによるSCM（Smart Composite Microstructures）などが提案されているが，センサを組み込んだ状態での祈り曲げは行なわれていない．本手法によりセンサの取り付けや，アラインメントの調整が不要となり，ロボットの小型化，高精度化が可能になる．将来的には，センサのみならず，機構，アクチュエータ，機能性表面などをあらかじめ集積化した平面部材を折り曲げて立体化することで，ロボットのさらなる小型化，多機能化が期待できる．このような昆虫規範型ロボットは，人の入ることが困難な機械の内部や災害地などでの調査や，エンターテインメントなどへの応用が期待できる．