架橋系高分子材料の粗視化分子動力学シミュレーシヨン技術の研究

摘要

工業用ゴムは分子間を架橋させた3次元綱目構造を有する架橋系高分子であり，架橋により力学的性質が向上することが知られている．このような架橋系高分子はゴム材料以外にも多数存在し，その応用としてMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）用高分子レジストが挙げられる.化学増幅型ネガレジストは紫外線照射と加熱により，分子間に架橋結合が生成され，架橋部が現像液に不溶となるためフォトリソグラフィ加工（写真製版技術）により高アスペクト比なマイクロスケールの微細パターンを形成可能である．