Binary mask optimization for forward lithography based on boundary layer model in coherent systems: erratum

Xu Ma; Gonzalo R. Arce

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Binary mask optimization for forward lithography based on boundary layer model in coherent systems: erratum

机译：相干系统中基于边界层模型的正向光刻二元掩模优化：勘误

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This erratum is to correct an error in the simulations detailed in our paper [J. Opt. Soc. Am A 26, 1687 (2009)].

机译：这个错误是为了纠正我们在论文中详细描述的模拟中的错误[J．选择。 Soc。 [A Am 26，1687（2009）]。

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来源
《Journal of the Optical Society of America, A. Optics, image science, and vision》 |2010年第1期|共3页
作者
Xu Ma; Gonzalo R. Arce;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类光学;
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