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机译:PECVD沉积低介电常数SiOC(-H)薄膜的制备及性能
Low-k; SiOC(-H) films; PECVD; MTES; C-V; Dielectric constant;
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机译:PECVD沉积不同衬底温度的低介电常数SiOC(-H)薄膜的力学性能
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机译:采用pECVD沉积的mTEs / O2制备低介电常数siOC(-H)薄膜的结构和力学性能