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机译:低压ECR微波等离子体应用于SiO2薄膜PECVD的整体模型
INDUCTIVELY-COUPLED PLASMAS; CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; CROSS-SECTIONS; OXYGEN DISCHARGES; ENHANCED CVD; TETRAETHOXYSILANE; TETRAMETHYLSILANE; ELECTRONS; CHEMISTRY; O-2;
机译:低压ECR微波等离子体应用于SiO2薄膜PECVD的整体模型
机译:新的ECR微波PECVD工艺在低温下沉积的SiO / sub 2 /薄膜的电子性能
机译:微波等离子体炬大气压PECVD沉积均匀TiO_2薄膜的动态模式优化
机译:微波ECR等离子体源增强的RF反应磁控溅射沉积用于电绝缘应用的致密SiO2薄膜
机译:PECVD系统的设计,构造和运行以及通过低压化学气相沉积法开发的GeO(2)-SiO(2)薄膜玻璃电介质。
机译:低压低温聚焦微波等离子体射流合成高度透明的超纳米晶金刚石薄膜
机译:用微波等离子体火炬通过大气压PECVD对均匀TiO2薄膜沉积的动态模式优化