机译:SU-8光刻胶的聚合优化及其在微流控系统和MEMS中的应用
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机译:SU-8厚光致抗蚀剂处理作为MEMS应用的功能材料
机译:在常见MEMS,微型系统和微电子涂料和材料上的最佳紫外线光刻曝光和灰度剂量的SU-8光致抗蚀剂的用户友好指南
机译:通过用于MEMS应用的拉伸测试确定SU-8负性光刻胶的杨氏模量
机译:用于BioMEMS应用的基于聚合物的微流体平台的设计和制造。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:正光刻胶作为牺牲层,用于使用SU-8聚合物制造MEMS微组件
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工