机译:使用新颖的垂直侧壁保护技术,使用DRIE和湿法刻蚀的对称双面光束质量结构的单晶片制造
机译:使用新颖的垂直侧壁保护技术,使用DRIE和湿法刻蚀的对称双面光束质量结构的单晶片制造
机译:具有对称双面蛇形束质量结构的MEMS电容式加速度计的制造
机译:使用<100>取向硅的双面各向异性刻蚀制造垂直侧壁
机译:具有对称双面蛇形光束质量结构的高灵敏度MEMS加速度计的高灵敏度MEMS加速度计
机译:垂直排列的单壁碳纳米管结构的制备与利用
机译:一种用于高纵横比植入MEMS结构的晶片刻度蚀刻技术
机译:使用Drie和晶圆粘合技术用刚性背板和垂直声孔的冷凝器麦克风的设计与制造
机译:Gaas晶圆制备亚微米沟道的双蚀刻技术及其在激光制备中的应用