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机译:振动运动中旋转MEMS器件的弯曲侧壁表面的摩擦特性
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机译:研究微加工侧壁表面摩擦行为的MEMS装置
机译:用于测量表面力的“纳米撞击撞锤”:使用MEMS装置获得力距曲线和侧壁静力数据
机译:振动运动中旋转MEMS装置的弯曲侧壁表面的摩擦特性
机译:具有电容式传感器的MEMS器件的高精度运动估计
机译:具有表面粗糙度的硅MEMS摩擦的描述:随机Prandtl–Tomlinson模型的优点和局限性以及振动引起的摩擦减小的模拟
机译:用于测量表面力的“纳米冲击夯”-使用MEMS装置获得力距曲线和侧壁静力数据
机译:sTRIBECK曲线作为润滑摩擦表面一般摩擦行为的特征